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Reactive Ion Beam Etching Ergebnisse
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Reactive Ion Beam Etching
(RIBE) Ä´zverfahren mittels eines Ionenstrahls, der chemische Reaktionen hervorruft, s.a. RIE.
Gefunden auf
https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=R&id=19014&page=1
Reactive Ion Beam Etching
(RIBE) tzverfahren mittels eines Ionenstrahls, der chemische Reaktionen hervorruft, s.a. RIE.
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